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[14p-B508-6] Reduction of wavelength dependence of MMI TO-phase shifter
Keywords:Multimode interference, Wavelength dependence
光通信デバイスを高機能化するために、CMOSプロセスを通じて微小な光デバイスを大量に生産することが可能なシリコンフォトニクスを用いて、我々のグループでは通信波長である1550nm帯域を中心として損失が少ない高速な熱光学位相シフタを開発している。マルチモード干渉(MMI)を利用することで高速・低消費電力な熱光学位相シフタを実現してきたが、MMIの波長依存性によって使用できる波長帯が制限されていた。本研究では、MMI位相シフタの波長依存性を低減することを試みた。