[14p-D215-1~7] 【CS.5】 Code-sharing Session of 7.4 & 9.5

[14p-D215-1] Development of spatiotemporal measurement and analysis methods in x-ray photoelectron spectroscopy III

〇Satoshi Toyoda¹, Tomoki Yamamoto², Masashi Yoshimura³, Hirosuke Sumida⁴, Susumu Mineoi⁴, Masatake Machida⁵, Akitaka Yoshigoe⁶, Akira Yoshikawa¹, Satoru Suzuki², Kazushi Yokoyama² (1.Tohoku Univ., 2.Univ. of Hyogo, 3.SPring-8 Service, 4.Mazda, 5.Scienta Omicron, 6.JAEA)

Keywords:XPS, semiconductor, buried interface

近大気圧下硬X線角度分解光電子分光(NAP-HARPES)により、半導体デバイス(MOSFET等)に用いられる多層積層薄膜に埋もれた界面を時間と空間に分解して可視化する計測・解析技術を開発した。時空間解析技術については、汎用X線光電子分光(XPS)装置かつあらゆる元素・化学結合状態、解析プラットフォーム(Windows/Macintosh,Android/iOS)に依存しないGUIとWebアプリ等(AaaS: Analysis as a Service)にパッケージングしてクラウド上にアップロードし、社会実装の準備を進めた。