[14p-D215-1~7] 【CS.5】 7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[14p-D215-2] Ge量子ドット像のXANAMによるX線エネルギー依存性測定

〇鈴木 秀士¹、向井 慎吾²、田 旺帝³、野村 昌治⁴、藤森 俊太郎¹、池田 弥央¹、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹、朝倉 清高² (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード：放射光X線、非接触原子間力顕微鏡、元素分析

試料表面の化学分析をナノスケールで行う手法として、NC-AFMと放射光X線を組み合わせたX線支援非接触原子間力顕微鏡（XANAM）を開発してきた。これまでX線照射下のGe量子ドットのイメージングが可能であることを報告した。そこで次の段階として、Ge量子ドット像のX線エネルギー依存性を計測し、その結果からXANAMの空間分解能について報告する。