[14p-D311-1~8] 1.6 超音波

[14p-D311-6] 2層構造厚み滑り振動子の動作メカニズムに関する検討

〇大橋 雄二¹、大和田 悠介²、面 政也³、横田 有為¹、吉野 将生²、山路 晃広²、黒澤 俊介¹、鎌田 圭¹、佐藤 浩樹¹、豊田 智史¹、吉川 彰^1,2 (1.東北大学NICHe、2.東北大学金研、3.XMAT)

キーワード：圧電厚み滑り振動子