[14p-D311-1~8] 1.6 超音波

[14p-D311-8] 質量負荷効果を用いたワイヤレスSAWセンサのための素子認識方法

〇近藤 淳^1,2、堀川 直起² (1.静岡大院総合、2.静岡大工)

キーワード：弾性表面波

パッシブ弾性表面波(SAW)センサを複数用いる場合，個々のセンサを識別することが重要である．従来は反射電極パターンで識別することが多い．これに対し，本研究では，質量負荷による識別方法を提案する．具体的には質量負荷による遅延効果を利用する．摂動法による解析により膜材料の種類，厚さ，長さによりSAWセンサの認識が可能であることを示した．