[14p-PA2-1~86] 2 放射線

△ [14p-PA2-72] pn接合型CdTeダイオードX線画像検出素子の特性評価

〇早川 護¹、西澤 潤一^1,3、神戸 健佑¹、都木 克之^2,3、青木 徹^1,2,3 (1.静岡大院、2.静大電研、3.(株)ANSeeN)

キーワード：放射線検出器、半導体、CdTe

我々はX線画像検出素子の開発のために、レーザードーピングを用いたpn接合型CdTeダイオードの形成を行った。オーミック型と異なりピクセル分離のためのパターンドーピングを行うため、本研究ではフォトリソグラフィ、リフトオフによってピクセル状にドーパント材を形成した。その後レーザードーピングによるpn接合を形成し、画像検出素子としての特性評価を行い、ガンマ線エネルギースペクトル評価とX線透過像撮像を行った。