[14p-PB10-1~5] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-PB10-1] 紫外・深紫外光を用いた高分解能・高速ラマンイメージング

〇齋藤 広大¹、足立 真理子¹、小林 実¹、河田 聡¹ (1.ナノフォトン（株）)

キーワード：ラマン分光、紫外光、半導体

ラマン顕微鏡は、半導体の結晶性や応力・欠陥の空間分布を評価する有用な手法の１つである。今回、紫外・深紫外光を励起光とする高分解能かつ高速なラマン顕微鏡を開発した。紫外光は物質に対する侵入長が浅くなるため表層のみを選択的に分析可能となり、また光子エネルギーが高いためワイドギャップ半導体に対する発光・共鳴ラマン測定を可能とする。講演では開発したラマン顕微鏡の原理とラマンイメージングの例を発表する。