[14p-PB3-1~8] 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

[14p-PB3-1] Fabrication of micro LED array drive circuit for projection device application

〇(M1)Taisuke Suzaki¹, Tetsuro Kosaka¹, Keisuke Yamane¹, Akihiro Wakahara¹ (1.Toyohashi Tech.)

Keywords:LED array drive circuit, GaN-LED, projection device application

近年、小型プロジェクタや注意喚起用照明として、1つのLEDが100 mm 以下のマイクロLED (μLED) アレイが注目されている。我々は8×8画素を有する高輝度μLEDアレイを開発してきた。本稿では、このμLEDアレイの発光パターンを制御するため、V溝トレンチ縦型Si-MOSFETを用いた駆動回路を設計・製作することを目的とした。
作製した縦型MOSFETは10 A/mm²の電流密度を達成し、μLEDアレイの駆動に求められるものを十分に満たす。