[14p-PB3-1~8] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[14p-PB3-1] 投射型デバイス応用に向けたマイクロLEDアレイ駆動回路の作製

〇(M1)寿崎 泰佑¹、小坂 哲朗¹、山根 啓輔¹、若原 昭浩¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：LEDアレイ駆動用回路、窒化物系発光素子、投射型デバイス

近年、小型プロジェクタや注意喚起用照明として、1つのLEDが100 mm 以下のマイクロLED (μLED) アレイが注目されている。我々は8×8画素を有する高輝度μLEDアレイを開発してきた。本稿では、このμLEDアレイの発光パターンを制御するため、V溝トレンチ縦型Si-MOSFETを用いた駆動回路を設計・製作することを目的とした。
作製した縦型MOSFETは10 A/mm²の電流密度を達成し、μLEDアレイの駆動に求められるものを十分に満たす。