[14p-PB5-1~14] 9.1 誘電材料・誘電体

[14p-PB5-1] Al-Sc-N 3元系計算状態図と歪みを導入したウルツ鉱相におけるScの固溶挙動

〇平田 研二¹、菖蒲 一久²、山田 浩志¹、上原 雅人¹、Anggraini Sri Ayu¹、秋山 守人¹ (1.産総研、2.計算熱力学研究所)

キーワード：圧電性、状態図、第一原理計算

通信用周波数フィルタやセンサーとして応用が期待されるSc添加AlN圧電体では、ウルツ鉱相中のScの固溶挙動を制御することが材料設計において重要である。本研究では第一原理計算とCALPHAD法を組合わせてAl-Sc-N 3元系の相平衡を計算し実験報告と比較した。また実用材料は薄膜で作製され、バルクとは異なる相平衡を示すと考えられる。そこで基板と薄膜の間に生じる歪エネルギーを考慮し、ウルツ鉱相におけるScの固溶挙動もあわせて評価した。