[14p-PB5-1~14] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[14p-PB5-3] Clarification of the Piezoelectric Enhancement Mechanism in Zr-AlN by First-Principle Calculation

〇(M1)Koga Furuta¹, Kazuya Eto¹, Sri Ayu Anggraini², Morito Akiyama², Masato Uehara^1,2, Hiroshi Yamada^1,2 (1.Kyushu Univ, 2.AIST)

Keywords:Piezoelectric Material, First-Principle Calculations

本研究では第一原理電子状態計算を用いてZr添加AlNの圧電向上機構の解明と圧電出力定数g₃₃、電気機械結合係数k²の評価を行った。Zr添加AlNではe­₃₃^nonclamp、e₃₃^clamp両項の増加がe₃₃増大に寄与していることが確認された。発表では圧電出力定数g₃₃及び電気機械結合係数k² についても報告を行う。