[14p-PB9-1~2] 15.1 バルク結晶成長

[14p-PB9-1] SiP化合物によるリン添加CZ-Si結晶育成

〇(M1)釣 将太朗¹、太子 敏則¹、渡辺 雄太²、刈谷 宣政² (1.信大工、2.エム・セテック)

キーワード：シリコン、単結晶成長、P添加

本研究では、Pの蒸発および発火性を考慮し、Siとの中間化合物であるSiPを添加したP添加Si単結晶を育成し、結晶中のP濃度分布について検討した。SiP化合物は炉内の圧力が低い場合に、Si原料の融解前に大部分が昇華もしくは蒸発することがわかった。