[15a-A202-1~8] 13.2 Exploratory Materials, Physical Properties, Devices

△ [15a-A202-1] Synthesis of MnSi_1.7/Si Nanosheet Bundles by MnCl₂/NH₄Cl treatment of CaSi₂ Powders

〇Shogo Ito¹, Yudai Nishikawa², Yushin Numazawa¹, Yosuke Shimura^1,2,3, Naohisa Takahashi⁴, Hirokazu Tatsuoka¹ (1.Grad. Sch. Integr. Sci. & Technol., Shizuoka Univ., 2.Fac. Eng., Shizuoka Univ., 3.Res. Inst. Electron., Shizuoka Univ., 4.Yamaha Advanced Material Research Gr., Yamaha Motor Co., Ltd.)

Keywords:silicide semiconductor, nanosheet

Si系ナノ構造物は毒性がなく資源豊富な材料からなる代表的な物質であり、低次元材料で発現する新しい物性を利用したデバイスへの応用が期待されている。一方MnSi_1.7は、環境に優しい熱電材料として注目されている。これまでSiナノシート束をNH₄Clを用いてCaSi₂よりCaを脱離する事により、またMnSi_1.7をMnCl₂を用いた熱処理によりSi基板上に作製してきた。本研究ではこれらを組み合わせることによりMnSi_1.7/Siナノシート束を作製し微細構造を評価した。