[15a-A202-1~8] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15a-A202-7] BaとSiの堆積レート比がAs-doped n-BaSi₂膜の光学特性に及ぼす影響

〇青貫 翔¹、山下 雄大¹、都甲 薫¹、末益 崇¹ (1.筑波大)

キーワード：半導体、太陽電池材料、シリサイド