アニール処理されたスパッタAlNテンプレート上AlGaN多重量子井戸における内部量子効率の<em>c</em>面サファイア<em>m</em>軸オフ角依存性

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15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[15a-A302-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

2020年3月15日(日) 09:00 〜 12:15 A302 (6-302)

11:30 〜 11:45

〇押村遼太¹、赤松勇紀²、藤井厚志²、倉井聡²、室谷英彰³、上杉謙次郎⁴、三宅秀人⁵、山田陽一² (1.山口大工、2.山口大院創成科学、3.徳山高専、4.三重大地域創成戦略企画室、5.三重大院地域イノベ)

キーワード：AlGaN、内部量子効率、オフ角