[15a-A305-1~13] 13.3 絶縁膜技術

[15a-A305-2] 高圧水蒸気中での陽極酸化法により成膜したシリコン酸化膜の電気特性

〇堅田 卓弥¹、角田 将紀¹、呉 研¹、高橋 芳浩¹ (1.日大理工)

キーワード：陽極酸化法、高圧水蒸気中、シリコン酸化膜