[15a-A404-1~11] 17.3 層状物質

[15a-A404-2] コールドウォール型有機金属化学気相成長法を用いた二次元超格子の作製

〇飯田 智士¹、堀田 貴都¹、一瀬 七海¹、渡辺 賢司²、谷口 尚²、劉 崢³、北浦 良¹ (1.名大理、2.物材機構、3.産総研)

キーワード：有機金属化学気相成長法、遷移金属ダイカルコゲナイド、超格子

本研究では、サブナノメートルのスケールで二次元物質を自在に接合・積層させる基盤技術の開発を目的とし、有機金属化学気相成長(MOCVD)法を用いた結晶成長に着目した。今回の発表では、WS₂及びMoS₂からなる二次元接合超格子の結晶成長について報告する。