[15a-A404-1~11] 17.3 層状物質

[15a-A404-5] RFマグネトロンスパッタ法を用いたSnSのエピタキシャル成長及び電気特性の検討

〇滝沢 康太¹、金 冑男^1,2、杉山 睦^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：硫化スズ、エピタキシャル、スパッタ