[15a-A408-1~9] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[15a-A408-7] ゾルゲル法による酸化セリウム薄膜と白金ナノギャップ電極を用いた抵抗型酸素センサ

〇土佐 翼¹、Phan Trong Tue¹、真島 豊¹ (1.東工大　フロンティア研)

キーワード：酸素センサ、ナノギャップ電極、ゾルゲルセリア

ゾルゲル法による酸化セリウム薄膜と白金ナノギャップ電極を組み合わせた抵抗型酸素センサを作製し、その応答速度を測定した。