[15a-B415-1~9] 【CS.3】 Code-sharing Session of 3.11 & 3.13

[15a-B415-3] Long Scale VCSEL Amplifier with Multipoint Contact Structure

〇Zeuku Ho¹, Keisuke Shimura¹, Xiaodong Gu¹, Akihiro Matsutani², Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST, 2.Tokyo Tech. Dept. Tech)

Keywords:VCSEL, Semiconductor Optical Amplifier

高出力と高ビーム品質を両立したレーザはレーザ加工やLiDARの分野で大きな注目を集めている．我々が提案する面発光レーザ増幅器は素子の長尺化によって高出力化とビーム拡がり角の狭窄化が可能である．しかし長尺化に伴う注入電流の不均一性によってビーム品質が劣化するという課題がある．そこで注入電流均一化のために多点接触構造を有する素子を作製し，動作実証を行った．