[15a-B415-1~9] 【CS.3】 3.11 フォトニック構造・現象と3.13 半導体光デバイスのコードシェアセッション

[15a-B415-3] 多点接触構造を有する長尺VCSEL増幅器

〇許 在旭¹、志村 京亮¹、顧 暁冬¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部)

キーワード：面発光レーザ、半導体光増幅器

高出力と高ビーム品質を両立したレーザはレーザ加工やLiDARの分野で大きな注目を集めている．我々が提案する面発光レーザ増幅器は素子の長尺化によって高出力化とビーム拡がり角の狭窄化が可能である．しかし長尺化に伴う注入電流の不均一性によってビーム品質が劣化するという課題がある．そこで注入電流均一化のために多点接触構造を有する素子を作製し，動作実証を行った．