[15a-D209-1~10] 2.3 Application, radiation generators, new technology

[15a-D209-2] Measurement of Beam Energy Spreads of a Penning Ion Gauge (PIG) Ion Source with Electromagnets for a MeV Compact Ion Microbeam System

〇Yasuyuki Ishii¹, Takeru Ohkubo¹, Yoshinobu Miyake² (1.QST Takasaki, 2.Beam Seiko Inc.)

Keywords:PIG Ion Source, Measurement of Beam Energy Spread

小型MeVマイクロビーム装置に適したイオンビームを発生するため、高密度な小プラズマからビームを発生する電磁石型PIGイオン源を設計・試作してきた。今回、3段加速レンズに適したビームの性質の内、ビームエネルギー幅に関して水素イオンビームを発生してその幅に関する研究を行った。