[15a-D215-1~12] 7.2 電子ビーム応用

[15a-D215-1] ガス環境TEM観察中に発生するイオン環境の調査

〇徳永 智春¹、河上 匠¹、大川原 彩恵¹、樋口 公孝¹、山本 悠太¹、山本 剛久¹ (1.名古屋大学)

キーワード：ガス環境TEM、イオン化

電子線が照射されているガス雰囲気に形成されるイオン環境がどのような特性を有するかを明らかにすると共に，除去方法の検討を行った．
N₂雰囲気に調整したTEM内に単孔プローブを挿入しバイアスを印加することによりI-V特性を取得し解析した結果，ガス環境中に陽イオンが存在していることが判明し，イオン化に伴って発生した電子のエネルギーは数eVであることが明らかになった．このエネルギー値を元に，イオン除去方法の検討も行った．