[15a-D215-1~12] 7.2 電子ビーム応用

[15a-D215-4] ナノ粒子のサイズ分布計測のための電子顕微鏡用調製試料の品質

〇黒河 明¹、熊谷 和博¹ (1.産総研)

キーワード：ナノ粒子サイズ分布、電子顕微鏡観察、試料調製

電子顕微鏡でナノ粒子のサイズ分布計測をするときナノ粒子分散液を滴下乾燥して試料調製する方法が多用される。調整した試料の品質を現す方法として二段階判定による整理法を述べる。第一段階の判定を、滴下乾燥痕におけるリング状凝集の有無とする。これにより試料調製条件の探索時には、蛍光ナノ粒子を用いた光学顕微鏡法を用いることができ、電子顕微鏡法に替わるスクリーニング法としての利点がある。