[15a-D411-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-D411-8] 内部応力場におけるシリコン中のボロンの拡散

〇棚橋 克人¹、末岡 浩治²、高遠 秀尚¹ (1.産総研、2.岡山県立大)

キーワード：シリコン、拡散、応力