[15a-D419-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

△ [15a-D419-10] 水熱合成法で作製した(K_xNa_1-x)NbO_３自己分極膜の縦振動を用いた正逆圧電応答の同時評価

〇(D)舘山 明紀¹、伊東 良晴¹、清水 荘雄¹、折野 裕一郎¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東工大)

キーワード：圧電体、水熱合成

圧電薄膜は電圧印加による逆圧電効果と応力印加による正圧電効果を用いてアクチュエータやセンサ・ハーベスタといった幅広いデバイスに応用されている。我々は短冊状に加工したKNN圧電薄膜の片端にセンサ用の電極を、もう一端に駆動用の電極を作製し、中央保持・両端自由の境界条件で駆動用電極に交流電圧を印加し縦振動共振させ、振動速度と出力される電流を検知し、正逆の圧電応答を同時に観測したので報告する。