[15a-D419-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[15a-D419-2] Effect of substrate type on microstructure and bonding state of PZT thin films in MPB

〇Takanori Kiguchi¹, Takumi Shimizu¹, Takahisa Shiraishi¹, Toyohiko J. Konno¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:ferroelectric thin film, MPB, domain structure

PZT薄膜の組成相境界(MPB)組成域およびその組織は、基板の弾性的な拘束により大きく変化する。演者らは種種の単結晶基板上に成膜したPZT薄膜において、熱応力によるMPB組成域のシフトとミスフィット転位によって誘起される歪みによりナノドメイン構造に大きな変化が現れることを見出した。本研究では、PZTに対する格子ミスマッチの異なる基板の弾性場がPZT薄膜の組織や結合状態に及ぼす影響を調べた。