[15a-D419-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[15a-D419-7] Development of film acoustic device using ultra-thin PZT/Si

Takahiro Yamashita¹, Toshihiro Takeshita¹, Atsushi Ouchi¹, 〇Takeshi Kobayashi¹ (1.AIST)

Keywords:PZT, MEMS, Acoustic

PZT 薄膜を用いた圧電MEMS の新たな応用として超音波センサやスピーカーなどの音響デバイスが注目されている。我々はこれまでにMEMS 技術で作製した極薄PZT/Si 構造をフレキシブル基板上に転写、配線する手法を開発してきた。今回、フレキシブル基板上のPZT に電圧を印可することで、可聴音が発生することを見出したので、基本特性からスピーカーへの応用可能性について報告する。