[15a-D419-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[15a-D419-7] 極薄PZT/Siを用いたフィルム音響デバイスの開発

山下 崇博¹、竹下 俊弘¹、大内 篤¹、〇小林 健¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：PZT、MEMS、音響

PZT 薄膜を用いた圧電MEMS の新たな応用として超音波センサやスピーカーなどの音響デバイスが注目されている。我々はこれまでにMEMS 技術で作製した極薄PZT/Si 構造をフレキシブル基板上に転写、配線する手法を開発してきた。今回、フレキシブル基板上のPZT に電圧を印可することで、可聴音が発生することを見出したので、基本特性からスピーカーへの応用可能性について報告する。