[15a-D511-1~10] 2.3 Application, radiation generators, new technology

[15a-D511-10] [Young Scientist Presentation Award Speech] Application of atomic layer deposition to astronomical X-ray telescopes

〇Aoto Fukushima¹, Daiki Ishi¹, Yuichiro Ezoe¹, Kumi Ishikawa², Masaki Numazawa¹, Ryota Otsubo¹, Hikaru Suzuki¹, Tatsuya Yuasa¹, Tomoki Uchino¹, Sae Sakuda¹, Kazuhisa Mitsuda² (1.TMU, 2.ISAS)

Keywords:atomic layer deposition, X-ray optics, X-ray astronomy

宇宙を含むX線光学系では反射率向上のため重金属膜付けが必須であるが、近年、高アスペクトの微細穴へ原子層レベルでの薄膜形成が可能な原子層堆積法に注目が集まっている。我々は宇宙用の微細穴X線光学系へ世界初のPt膜付けに成功し、プラズマを用いた手法で表面粗さを改善することで将来衛星の要求を満たす成膜を初めて可能にした。本結果は地上用を含む多くのX線光学系の反射特性の改善にも貢献することが期待できる。