[15a-D511-1~10] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[15a-D511-10] [講演奨励賞受賞記念講演] 原子層堆積法の宇宙X線望遠鏡への応用

〇福島 碧都¹、伊師 大貴¹、江副 祐一郎¹、石川 久美²、沼澤 正樹¹、大坪 亮太¹、鈴木 光¹、湯浅 辰哉¹、内野 友樹¹、作田 紗恵¹、満田 和久² (1.首都大、2.宇宙研)

キーワード：原子層堆積法、X線光学系、X線天文学

宇宙を含むX線光学系では反射率向上のため重金属膜付けが必須であるが、近年、高アスペクトの微細穴へ原子層レベルでの薄膜形成が可能な原子層堆積法に注目が集まっている。我々は宇宙用の微細穴X線光学系へ世界初のPt膜付けに成功し、プラズマを用いた手法で表面粗さを改善することで将来衛星の要求を満たす成膜を初めて可能にした。本結果は地上用を含む多くのX線光学系の反射特性の改善にも貢献することが期待できる。