[15a-PA1-1~5] 1.6 超音波

[15a-PA1-1] ｽﾍﾟｯｸﾙﾅｲﾌｴｯｼﾞ光検出器を用いたﾚｰｻﾞ超音波装置の高感度化

〇李 英根¹、北澤 聡¹、リケッシュ パテル² (1.日立研開、2.ノッティンガム大)

キーワード：レーザ超音波、スペックルナイフエッジ検出器、非破壊・非接触検査

レーザ超音波技術は、インライン・インプロセスならびに全数検査を可能にする非破壊・非接触な超音波検査技術として注目されている。そこで我々は，安価で小型かつ高ロバストなレーザ超音波装置の実現を目指し、スペックルナイフエッジ光検出器（Speckle knife-edge detector：SKED）を用いたレーザ超音波装置を検討している。前回の報告では、実用性を確認するため、表面が粗面の試験体における内部欠陥からのエコー観測を実証した。今回は、高感度化を図る目的で、光学系パラメータの最適化を行ったので、その結果を報告する。