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[15a-PA1-1] スペックルナイフエッジ光検出器を用いたレーザ超音波装置の高感度化
キーワード:レーザ超音波、スペックルナイフエッジ検出器、非破壊・非接触検査
レーザ超音波技術は、インライン・インプロセスならびに全数検査を可能にする非破壊・非接触な超音波検査技術として注目されている。そこで我々は,安価で小型かつ高ロバストなレーザ超音波装置の実現を目指し、スペックルナイフエッジ光検出器(Speckle knife-edge detector:SKED)を用いたレーザ超音波装置を検討している。前回の報告では、実用性を確認するため、表面が粗面の試験体における内部欠陥からのエコー観測を実証した。今回は、高感度化を図る目的で、光学系パラメータの最適化を行ったので、その結果を報告する。