[15a-PA5-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-PA5-13] α-Ga₂O₃の電気特性異方性の評価

〇守屋 亮¹、青山 昇平¹、城川 潤二郎¹、四戸 孝²、高橋 勲²、荒木 努¹ (1.立命館大理工、2.FLOSFIA)

キーワード：酸化ガリウム、酸化物半導体、電気特性

α-Ga₂O₃において、c面とm面では電気特性が異なることが報告されている。一方、第一原理計算では異方性が否定されている。Snをドーピングしたc面およびm面の電気特性の面内異方性を評価した。c面では等方性が確認されたが、m面では異方性が確認されたためSn濃度を変化させた試料の測定を行った。Sn濃度の増加と共に、異方性が強くなることがわかった。Snが異方性に寄与していることを示唆する。