[15a-PA5-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-PA5-22] 欠陥物性評価に向けたRFリアクティブマグネトロンスパッタ法を用いたNiOのエピタキシャル成長

〇西本 啓介¹、金 冑男^1,2、杉山 睦^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：酸化ニッケル、エピタキシャル、スパッタ