[15a-PA5-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-PA5-24] ミストCVD法を用いたフレキシブルなワイドギャップ酸化物半導体のエピタキシャル成長

〇新田 悠汰¹、西中 浩之¹、島添 和樹¹、田原 大祐¹、吉本 昌広¹ (1.京工繊大)

キーワード：酸化物半導体、フレキシブル、ミストCVD法