[15a-PA5-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-PA5-6] Ga:ZnO膜へのZn供給による高キャリア密度化と高移動度化

〇山下 雅貴¹、杉浦 怜¹、山田 祐美加²、舩木 修平^1,2、山田 容士^1,2 (1.島根大総理工、2.島根大自然)

キーワード：酸化亜鉛、アニール