09:30 〜 11:30
[15a-PA5-8] CaF2をコスパッタした酸化インジウム透明導電膜の作製と評価
キーワード：酸化インジウム透明導電膜、フッ化カルシウム
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
[15a-PA5-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
2020年3月15日(日) 09:30 〜 11:30 PA5 (第３体育館)