[15a-PB1-1~20] 6.4 薄膜新材料

[15a-PB1-11] 多層膜固相エピタキシー法によるLaSbエピタキシャル薄膜の作製

〇石金 周将¹、河底 秀幸¹、福村 知昭^1,2 (1.東北大院理、2.東北大WPI-AIMR･CRC･CSIS･CSRN)

キーワード：希土類モノニクタイド、固相エピタキシー、スパッタリング