[15a-PB1-1~20] 6.4 薄膜新材料

[15a-PB1-13] LiをドープしたSrTiO₃薄膜の作製と伝導性評価

〇星川 輝¹、成澤 謙真¹、内山 潔¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：Liイオン、電解質、スパッタ法

近年、リチウムイオン電池の重要性が増しているが電解質に可燃性の有機溶媒液が用いられており、漏出による安全性・信頼性の問題が懸念されている。これを解決するため全固体リチウムイオンバッテリーの開発が行われている。SrTiO3にLiが拡散する例が報告されており、STO系酸化物でもLiイオン伝導性が発現すると考えた。本研究では、Liを添加したLi-SrTiO薄膜の作製およびLiイオンの伝導性を評価した。