[15a-PB1-1~20] 6.4 薄膜新材料

[15a-PB1-2] 機械学習を用いた光MOD法によるBi置換希土類鉄ガーネットの作製プロセスの最適化

〇相場 遥佳¹、袖山 和斗¹、藤田 拓実¹、西川 雅美¹、野中 尋史¹、河原 正美²、中島 智彦³、土屋 哲男³、石橋 隆幸¹ (1.長岡技大、2.高純度化学、3.産総研)

キーワード：光MOD法、エキシマレーザー、ビスマス置換希土類鉄ガーネット