[15a-PB2-1~22] 8 プラズマエレクトロニクス

[15a-PB2-5] プラズマ処理をした多層カーボンナノチューブのTEM観察

〇西村 康平¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、内田 秀雄¹ (1.中部大工)

キーワード：カーボンナノチューブ、プラズマ

多層カーボンナノチューブ(MWCNTs)は、一般に生産効率が高く、優れた物性を保持している。本発表では、プラズマ処理をしたMWCNTsの表面状態の変化を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察し、その結果について報告を行う。今回の実験結果によると、MWCNTsを特定のプラズマに曝すことにより、その太さを変化させていることがわかった。本発表ではこの結果について詳細を報告する。