[15a-PB3-1~12] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15a-PB3-6] 微小曲げ試験による金材料の機械的強度のサンプル形状効果

〇(M1)鈴木 康介¹、Hashigata Ken¹、浅野 啓介¹、Chen Chun-Yi¹、Chang Tso-Fu Mark¹、名越 貴志²、山根 大輔¹、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、益 一哉¹、曽根 正人¹ (1.東工大、2.産総研)

キーワード：MEMS、金、サイズ効果

金は高密度特性からMEMS加速度センサの可動部に用いることで好感度化と小型化を同時に実現することができる。本研究では幅と厚さの異なる様々な金カンチレバーに対して微小曲げ試験を行い、および厚さがサイズ効果に及ぼす影響を調べた。