[15a-PB4-1~13] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15a-PB4-1] Improved passivation quality of TiO₂ electron-selective contacts by Ta doping

〇Seira Yamaguchi¹, Lee Hyunju¹, Ohshita Yoshio¹ (1.Toyota Tech. Inst.)

Keywords:Carrier-selective contact, Titanium oxide, Atomic layer deposition

本研究では，TiO₂電子選択コンタクト材料に対してTaをドープすることにより，パッシベーション性能を大きく向上させることに成功した．