[15a-PB4-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[15a-PB4-3] 電子線蒸着a-Si膜へのフラッシュランプアニールで形成したpoly-Si膜を用いたテストセルの作製

〇家後 和美¹、Trinh Cham Thi²、Amkreutz Daniel²、Huynh Thi Cam Tu¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大、2.HZB)

キーワード：フラッシュランプアニール、薄膜多結晶Si太陽電池

単純な電極構造のテストセルにより、短絡電流密度および開放電圧を決定でき、薄膜結晶Siのポテンシャルを推定することができる。FLAにより形成した多結晶Si (FLC poly-Si)の可能性を調べるために、テストセルの作製を試みた。FLC poly-Siを用いたテストセルにおいて、初めて動作が確認された。発電特性が不十分なのは、吸収層中の多数の亀裂による高い直列抵抗と低い並列抵抗が原因と考えられる。