[15p-B409-1~7] 3.8 光計測技術・機器

[15p-B409-6] 相関を利用したShack-Hartmann 波面センサの開発: サブ画素位置推定

〇遠藤 貴雄¹、三輪 佳史¹、安藤 俊行¹、板倉 成孝²、藤井 康隆² (1.三菱電機　情報総研、2.三菱電機　鎌倉製作所)

キーワード：波面計測、シャック　ハルトマン　センサ、相互相関

光の波面や光学系の収差を評価する計測器の一つとして，Shack-Hartmann波面センサがある。
本論では，従来の点光源ではなく，広がりをもつ非点光源を参照する波面センサについて議論する。
非検体からの透過波面は，波面センサが参照する非点光源の相対変位から求められる。
相対変位を相関演算にて求めることで< 1/50[pixel]の精度を満足した。
これは透過波面を5/100 [λ r.m.s]の精度で計測できることに相当する。