[15p-B415-1~11] 【CS.2】 3.11 フォトニック構造・現象と3.12 ナノ領域光科学･近接場光学のコードシェアセッション

△ [15p-B415-2] 角度可変MEMSプラズモニック光検出器を用いた分光機能の実証

〇大下 雅昭¹、高橋 英俊²、菅 哲朗¹ (1.電気通信大学、2.慶應義塾大学)

キーワード：MEMS、プラズモニクス、ショットキー障壁

n型Siカンチレバー上にプラズモニック光検出器を構成して特性可変とし、分光器応用に際する適用条件を検証した。この光検出器は表面プラズモン共鳴と金－Si界面障壁により、入射角に対応して異なる波長の光を電流で検出し、分光を行う。分光に必要な条件である、単色光をそれぞれ入力して得られる出力電流の和に関して、線形重ね合わせが成り立つかどうかを検証し、本研究では光検出器がこの条件を満たすことを確認した。