[15p-D215-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [15p-D215-10] 導電性ポリマー被覆PETフィルムのナノインプリントと表面平坦化

〇大島 淳史¹、大賀 友瑛¹、金子 奈帆¹、金子 智^1,2、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：熱ナノインプリント、導電性ポリマー

軽量，柔軟性，可視光透明などの特徴を持つ導電性ポリマー材料は，エレクトロニクスにおいて大きな関心を集めている。導電性ポリマー基板への表面平坦性の向上や特性の制御に与える影響に関する知見は，フレキシブルデバイス形成への貢献が期待できる。以上のことから本研究では，原子ステップを有するモールドを用いた熱ナノインプリント法による導電性ポリマー表面の表面平坦性の改善と電気的特性の変化について検討した。