[15p-D215-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15p-D215-11] 金属堆積光インプリント樹脂パターンのシングルパルスレーザー現像

〇井澤 優佑¹、中村 貴宏¹、伊東 駿也¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研)

キーワード：光ナノインプリトリソグラフィ、フェムト秒パルスレーザー、ドライ現像

光インプリントリソグラフィにおける金属パターンの成形には、一般に犠牲層を用いた光硬化樹脂のlift-offプロセスが用いられる。この際、溶媒に可溶な犠牲層の選定およびパターンの疎密による現像時間の精密制御が必要となる。本研究では、光インプリント成形樹脂パターン上に金属膜を堆積し、フェムト秒パルスレーザーのシングルパルス照射により極短時間で金属パターンのドライ現像が可能であることを示した。