[15p-D215-1~11] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[15p-D215-8] 光示差走査熱量測定による蛍光ナノインプリントアライメントに向けた色素含有紫外線硬化性液体の探索

〇吉田 拓真¹、伊東 駿也¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研)

キーワード：光ナノインプリントリソグラフィ、光示差走査熱量測定、光増感反応

我々は蛍光性液体を用いた「蛍光ナノインプリントアライメント」を新規に提案し、光ナノインプリント成形における位置合わせに関する研究を進めている。しかし、本方法に使用する蛍光色素含有紫外線硬化性液体は可視光励起に対する安定性に未だ課題がある。本研究では、光示差走査熱量測定により光重合反応の進行の程度を定量的に評価し、ラジカル型光重合開始剤の化学構造に着目した液体材料の探索を行った。