[15p-D305-1~13] 1.6 超音波

[15p-D305-2] 異種材料接合構造上のリーキーSAW高調波の共振特性

〇浅川 詩織¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、手塚 彩水²、水野 潤² (1.山梨大工、2.早稲田大)

キーワード：弾性表面波、漏洩弾性表面波、高調波

弾性表面波(SAW)デバイスには高周波化・高Q化といった高性能化が要求されている．高周波化のアプローチとして，すだれ状電極(IDT)により励振されるSAW高調波の利用がある．本報では，LiTaO₃(LT)とQuartzを異種材料接合させた構造上のリーキーSAW(LSAW)三次高調波の共振特性を検討した結果を報告する．実験の結果，水晶との接合により三次高調波の比帯域幅は0.8%から1.6%にそれぞれ増加した．今後はより強勢に高調波を励振させる方策について検討する．